TRR 87: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten. Teilprojekt B03 - Grundlegende Untersuchungen zu Haftungsmechanismen, Permeabilität u. Dehnbarkeit v. nanostrukturierten Plasmabeschichtungen a. polymeren Substraten

In der dritten Phase stehen im Rahmen des Teilprojektes B03 die Einstellbarkeit von Poren im nanoskopischen Bereich durch den Plasmaprozess und die makromolekulare Strukturierung des Substrats sowie der Einfluss der Porengrößen und ihrer chemischen Funktionalisierung auf die Transportprozesse kleiner unpolarer und polarer Moleküle mit Relevanz für Barriere- sowie Membranbeschichtungen im Vordergrund. Die analytischen Ansätze basieren insbesondere auf in-situ XPS-Analytik bei erhöhten Drücken (NAP-XPS) in Kombination mit in-situ FTIR-Spektroskopie sowie der Kopplung von ellipsometrischer Porosimetrie mit Schwingquarzmikrowägung.