Multiskalensimulationen zur Aufklärung des Stofftransports durch Kunststoffe mit PECVD-Beschichtung

In diesem Teilprojekt wird eine Multiskalensimulationsmethode etabliert, um den Anteil des porendominierten Stofftransports durch Kunststoffe mit PECVD-Schichten aufzuklären und insbesondere zu quantifizieren. Die Porenverteilungen werden mittels Sauerstoffätzverfahren experimentell ermittelt und mit Methoden zur Bestimmung des Gesamtvolumens der Poren (B3, B7) ergänzt. So lassen sich Rückschlüsse über die Größenverteilung der nanoskaligen Poren und die Gewichtung der einzelnen Größenanteile machen. Die Simulation kombiniert dabei makroskopische kontinuumsmechanische Ansätze mit semiklassischen atomistischen Molekulardynamikmethoden.

DFG-Verfahren Transregios

Teilprojekt zu TRR 87: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten

Antragstellende Institution Ruhr-Universität Bochum

Teilprojektleiter Professor Dr. Rainer Dahlmann; Professor Dr.-Ing. Christian Hopmann; Professor Dr. Thomas D. Kühne